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马知力提醒道。
目前市面上的光刻机的光源,一般分为紫外光UV、深紫外光DUV、极紫外光EUV,其中最先进的光刻机,就是尼德兰的阿斯麦公司生产的极紫外光EUV,波长为13.4纳米。
但是其实在上个世纪八十年代,光刻机行业之中,还有除了极紫外光EUV路线,还存在着另一个路线——X射线光刻机。
为什么波长在10纳米以下的X射线光刻机,最后被极紫外光EUV淘汰?
原因有两个,一是效率问题,X射线照射下光刻胶的光刻速度比较慢;二是精确度问题,为什么说波长10纳米以下的X射线,光刻精度差?因为掩模做不到10纳米以下。
掩模就是电路图的母板,为什么极紫外光EUV的精度高,原因在于紫外光可以使用凸透镜缩小从掩模过来的光线,而所有人都知道X射线的穿透力非常强,凸透镜根本无法聚焦。
所以X射线光刻机被淘汰了。
市面上没有X射线光刻机,也就意味着没有客户。
“这个问题不是问题。”
“社长没有客户的话……”
黄明哲打断了马知力:“知道X射线光刻机为什么被淘汰吗?”
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马知力点了点头。
“效率问题在于光刻胶的光敏性,如果我们研发一种可以在几秒钟内完成光刻的X射线光刻胶,那效率还是问题吗?”
黄明哲反问道。
“嗯?”
马知力一愣。
确实如同黄明哲说的那样,光刻效率问题其实就是光刻胶光敏性的影响,归根结底就是材料问题,而材料问题不恰恰就是思维社的强项?⑦⑧中文全网更新最快ωωω.七8zω.cδм
“至于凸透镜无法聚焦X射线,我们为什么不制造一种可以聚焦X射线的凸透镜,这个同样是凸透镜材料的光敏性,材料可以改变一切。”
黄明哲笑着提醒道。
“对啊!
我怎么没有想到?”
马知力顿时瞪大眼睛。
其他人顿时也呼吸急促起来,如果他们解决了光刻胶和凸透镜的光敏性,岂不是相当于完成了X射线光刻机的缺点弥补。
而X射线光刻机的先天性优势,就是发散性低、光线集中、波长短小精悍。
“我们要完成一个独立自主的光刻机系统,就不能按部就班走西方人的老路,不然永远无法超越对方。”
黄明哲说道。
这个问题其实就是国内光刻机行业发展的拦路虎,按照西方人的路线走,别人的专利怎么绕过去?
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