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第八十九章 聘用（第1页）

光刻机从外头看上去就是一个铁皮箱子，仅有的一个观察窗，在真正进行光刻作业的时候，也看不到任何东西。

郝莽也只能在光刻机工作的时候，听到几声类似于手机摄像头打开时的杂音。

范红才耳朵几乎贴在了光刻机上，像是古代的医生进行着原始听诊一般。

“滋——”

他的耳朵里听到了电流的杂音。

“这台机器使用的是紫外光源，光源用的是冷阴极低压汞灯。

电流音听起来好像是直流管……”

随后，响起了光学模组矫正归位的“咔咔”

声。

“一、二、三、四、五……至少有五组光学镜足，每组镜组应该至少有两枚镜片，镜片排列应该是尽可能追求对称的光路……”

接下来听到的声音，就是托着晶圆的托盘电机在工作的声音了，光源和镜头模组的声音，反倒是稳定了下来。

范红才支起来身，他这时才感觉到自己的老腰有些酸疼。

他没有着急下判断，而是等着光刻机工作完成，被加工的晶圆进入清洗和掺杂的工序，他才开口说道。

“这是一台使用紫外光源，对称光路的光刻机。

用纯紫外光是因为自然光含有光谱波长不同，最后对晶圆上的光刻胶进行投影的时候，会加大误差。

选择紫外光而不是其它波长的光，是因为紫外光含有的能量是所有光中最大的。”

“镜头模组采用的对称设计，如果我没有听错的话，每组的镜片至少有两个，尽可能增让紫外光聚焦的同时，又尽量让它们保持平行，不会产生过多的折射和散射，造成能量的浪费和光刻精度的降低。”

他抿着嘴思考了一下，“这台光刻机从这两个光学模块来说，我认为确实有机会达到一微米的光刻精度。”